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洁净工程洁净室的主要功能


洁净工程洁净室的主要功能是控制产品(如硅片)所处环境的清洁度、温度和湿度,使产品在良好的环境中生产和制造。这个地方叫无尘室。根据国际惯例,无尘净化水平主要取决于每立方米空气中粒径大于划分标准的颗粒数。也就是说,所谓无尘不是100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常小的单元内。在光学结构上,即使是粉尘含量很小的产品,也不可避免地会受到粉尘的影响。


粒径小于0.3μm/m3的粉尘量控制在3500以下,达到国际无尘标准a级。在芯片级生产加工中应用的无尘标准对粉尘的要求比A级高,主要用于生产一些更高等级的芯片。粉尘量严格控制在每立方米1000度以内,这在业内俗称1K级。


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